Zeiss Ultra-Plus FEG-SEM

מיקרוסקופ אלקטרונים סורק ברזולוציה גבוהה HR-SEM (High Resolution Scanning Electron Microscope (נועד לדימות ישיר של מורפולוגית פני שטח, פני שבר, שכבות דקות, מדידת הרכב כימי(EDS) קביעת מבנה קריסטלוגרפי (TKD) באופנים שונים של סריקה. המכשיר מאובזר עם מקור אלקטרונים מסוג Field Emission Gun (FEG) , מערך עדשות חדשני וחיישנים מתקדמים. השילוב מאפשר לקבל כושר הפרדה (רזולוציה) בסדר גודל של ננומטרים בודדים. אופטימיזציה של תנאי עבודה מאפשרת דימות ברזולוציה גבוהה של חומרים לא מוליכים ומוליכים למחצה, ללא צורך בציפוי מוליך. בנוסף המיקרוסקופ מאובזר בגלאי STEM המאפשר לאפיין דגמים דקים.

במיקרוסקופ זה ניתן לבצע ניסויים מיוחדים, כגון חימום עד 1050°C וניסויי ננו-קושיות (nanoindentation) לבדיקת תכונות מכאניות בסקלה ננומטרית.

 



 

A Schottky field emmission gun SEM (FEG-SEM) which includes a heating stage up to 1050oC, a 80mm2 active area Oxford SDD EDS detector with an energy resolution of 127eV and a unique combination of detectors:

  • Everhart Thornley chamber secondary electrons detector.
  • In-lens secondary electrons detector.
  • In-lens energy selected back scattered detector.
  • Four-quadrant angular selected back scattered detector allowing imaging in orientation, topographic or composition modes.
  • Transmission electron detector for STEM operations allowing bright and dark field imaging modes.

contact person: Dr. Olga Kleinerman