ספקטרומטריית מסות של יונים משניים בזמן מעוף (ToF SIMS)

Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (ToF-SIMS)

איש קשר: ד"ר שאול מיכלסון

טלפון: +972-4-829-3148

דוא״ל: mshaul@si.technion.ac.il

מעבדת מדעי השטח מצוידת במכשיר ToF SIMS 5 של חברת IONTOF (גרמניה).

ספקטרומטריית מסות של יונים משניים בזמן מעוף (ToF SIMS) היא טכניקת אנליזה רגישה במיוחד לפני שטח, המיושמת באופן נרחב בתחומים מחקריים ותעשייתיים. הטכניקה מספקת מידע כימי מפורט – הן ברמה יסודות כימיים והן ברמה המולקולרית – של השכבה האטומית העליונה (monolayer), שכבות דקות, ממשקים, וכן פרופילים ודימות תלת-ממדיים מלאים של הדגימה.

המכשיר כולל מערכת הנעת דגימות מדויקת וגמישה, וכן מערכת פיצוי (ניטרול) מטען מרחבי מושלמת, המאפשרות ניתוח של כמעט כל סוגי החומרים – כולל מוליכים, מבודדים, פולימרים, ננו-חלקיקים, חומרים ביולוגיים, תרופות, מתכות, קרמיקות ועוד.

תכונות עיקריות:

  • זיהוי יסודות כימיים ומולקולות (כולל מימן), ברגישות גבוהה (עד לרמות של ~1 חלק למיליון).
  • טווח מסות רחב עם אפשרות לזיהוי בו-זמני של יונים שונים – אורגניים ואנאורגניים – ומתן אפשרות לביצוע ניתוח חוזר של הנתונים בדיעבד
  • רזולוציית מסה גבוהה מאוד(M/ΔM > 8000) כולל חומרים מבודדים.
  • רזולוציה מרחבית גבוהה (החל מ-1 מיקרון), עם שדה ראייה שנע 20×20 µm2 ל- 500×500 µm2.
  • רזולוציית עומק של כ-1 ננומטר
  • קצב חפירה של עד 10 מיקרון לשעה.
  • תוכנת עיבוד והדמיה תלת-ממדית.
  • אפשרות לקירור הדגימה עד ל-150 K או לחימום עד ל-900K בזמן אמת (in-situ)