מעבדת FIB – קרן יונים מפוקסת

מעבדת הפיב בטכניון נרכשה בעזרת TELEM ומכון ראסל ברי לננוטכנולוגיה. המערכת מבוססת על מכשיר FEI Strata 400s.

המכשיר כולל מיקרוסקופ אלקטרונים סורק וקרן יונים (+Ga) המפוקסת על פני שטח הדגם, וכן במה מתהפכת (flip-stage) וגלאי STEM לבדיקת עובי הדגמים. מכלול זה מאפשר הכנת דגמים מדוייקת במימדים ננומטריים. מגוון רחב של טכנולוגיות משולבות במכשיר זה:

  • מקרוסקופ אלקטרונים סורק ברזולוציה גבוהה
  • אופטיקת יונים ברזולוציה גבוהה
  • הזרקת גזים לנידוף מקומים של שכבות (C, Pt ,SiO2 ,Au)
  • איכול כימי מקומי מוגבר
  • Omniprobe 200 – מערכת הוצאת דגמי TEM

מאפיינים נוספים

שימוש במכשיר

השימוש במכשיר הפיב פתוח למפעילים עצמאיים לאחר הכשרה מתאימה.

כמו כן, ניתן לקבל שירות לאקדמיה ולתעשיה.

למידע נוסף: דר’ ציפי כהן היימס

משרד: 04-8295125

מעבדת פיב: 04-8295144

לוח זמנים